无尘车间局部超洁净空间 自动化流水线洁净度检测新课题

洁净室(Clean Room),也称为无尘室,半导体行业从um量级向nm量级发展的过程中，洁净室等级要求也越来越高，但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）,只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级） 甚至更高。

无尘车间是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性，大湾检测提供无尘车间全套洁净室检测，压缩空气质量检测。

局部超洁净空间。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。

维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为*适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用，大湾检测不局限于洁净室整体检测，更侧重于自动生产线洁净度检测。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上。

无尘车间相关术语：

悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1～5μm 之间。

洁净度：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。

气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。

洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制在*小程度所使用的发尘量少的洁净服装。

高效空气过滤器 HEPA：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。