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生物安全柜高效过滤器检漏的步骤包括以下六步。
1. 确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。
2. 使用气溶胶发生器在上游释放挑战微粒，将PAO打入高效空气过滤器上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克。微粒浓度可通过风量粗略计算，再用光度计确认。
3. 上游微粒浓度确认后，就可以在空气过滤器表面扫描，寻找泄漏了。
4. 在高效空气过滤器表面扫描时，扫描路径可由外而内或沿长/短边迂回检测，其方式如下：
2)扫描高效空气过滤器的表面时，将探漏器摆设如图 1(b)位置，用短边方向前进，覆盖过滤器;
3)扫描高效空气过滤器的边框时，探漏器摆设可以如上图1(a)或(b)位置，含盖全部接缝;
4)利用光度计探头在过滤器下游距过滤器表面不超过25mm，以小于50mm/s的速度移动;
5)气溶胶光度计上的读数是上下游百分比值，因此若是数值大于0.01，即可怀疑为泄漏，可退回约100mm反复再测，如果没有持续高读数，则可继续测试，反之即为有泄漏，需作记录且日后修补或更换。
